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http://repositorio.espe.edu.ec/handle/21000/19824| Titel: | INSITU FTIR KINETIC STUDY IN THE SILYLATION OF LOWK FILMS WITH HEXAMETHYLDISILAZANE DISSOLVED IN SUPERCRITICAL CO2 |
| Autor(en): | RODRIGUEZ MAECKER, ROMAN NICOLAY VYHMEISTER BASTIDAS, EDUARDO ANDRES |
| Erscheinungsdatum: | 1-Mär-2016 |
| Herausgeber: | CHEMICAL ENGINEERING COMMUNICATIONS |
| URI: | http://dx.doi.org/10.1080/00986445.2015.1124098 https://www.researchgate.net/publication/287120477_In-Situ_FTIR_Kinetic_Study_in_the_Silylation_of_Low-k_Films_with_Hexamethyldisilazane_Dissolved_in_Supercritical_CO_2 http://repositorio.espe.edu.ec/handle/21000/19824 |
| ISSN: | 1563-5201 |
| Enthalten in den Sammlungen: | Publicaciones Artículos Revistas |
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