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Campo DC Valor Lengua/Idioma
dc.contributor.authorRODRIGUEZ MAECKER, ROMAN NICOLAY-
dc.contributor.authorVYHMEISTER BASTIDAS, EDUARDO ANDRES-
dc.date.accessioned2019-05-14T00:37:15Z-
dc.date.available2019-05-14T00:37:15Z-
dc.date.issued2016-03-01-
dc.identifier.idautor1712082120-
dc.identifier.idautor1757531718-
dc.identifier.issn1563-5201-
dc.identifier.urihttp://dx.doi.org/10.1080/00986445.2015.1124098-
dc.identifier.urihttps://www.researchgate.net/publication/287120477_In-Situ_FTIR_Kinetic_Study_in_the_Silylation_of_Low-k_Films_with_Hexamethyldisilazane_Dissolved_in_Supercritical_CO_2-
dc.identifier.urihttp://repositorio.espe.edu.ec/handle/21000/19824-
dc.publisherCHEMICAL ENGINEERING COMMUNICATIONS-
dc.relation.ispartofCHEMICAL ENGINEERING COMMUNICATIONS, volumen 203, número 8-
dc.rightsopenAccess-
dc.titleINSITU FTIR KINETIC STUDY IN THE SILYLATION OF LOWK FILMS WITH HEXAMETHYLDISILAZANE DISSOLVED IN SUPERCRITICAL CO2-
dc.typeArtículo-
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