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http://repositorio.espe.edu.ec/handle/21000/19824| Título : | INSITU FTIR KINETIC STUDY IN THE SILYLATION OF LOWK FILMS WITH HEXAMETHYLDISILAZANE DISSOLVED IN SUPERCRITICAL CO2 |
| Autor: | RODRIGUEZ MAECKER, ROMAN NICOLAY VYHMEISTER BASTIDAS, EDUARDO ANDRES |
| Fecha de publicación : | 1-mar-2016 |
| Editorial: | CHEMICAL ENGINEERING COMMUNICATIONS |
| URI : | http://dx.doi.org/10.1080/00986445.2015.1124098 https://www.researchgate.net/publication/287120477_In-Situ_FTIR_Kinetic_Study_in_the_Silylation_of_Low-k_Films_with_Hexamethyldisilazane_Dissolved_in_Supercritical_CO_2 http://repositorio.espe.edu.ec/handle/21000/19824 |
| ISSN : | 1563-5201 |
| Aparece en las colecciones: | Publicaciones Artículos Revistas |
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